随着半导体微细化/积层化，生产流程的精度与日俱增，对设备环境的变化也越来越敏感。然而，目前很难根据产品生产过程中出现的品质问题捕捉现象，对于生产周期较长的半导体生产流程而言，保障产品品质稳定成为一大课题。
1、根据温度变化特征量及时捕捉设备运行时的状态变化，保障品质稳定，可通过判断温度变化特征量数据是否处于正常范围内，捕捉设备状态变化，提高产品合格率。
2、通过监视控制设备和负载的状态，进一步确保稳定生产
365完美体育可持续监视支持设备正常运行的控制设备和负载的状态变化。
■监视设备状态
■监视负载状态
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